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晶体生长

感应加热技术应用于晶体生长,与电阻丝或石墨体加热法相比,具有一系列的特点和优势:

直接加热坩埚,功率密度大,更容易获得高温;

感应加热没有电连接点,保温条件好,温场均匀;

起炉快,热惯性小,系统响应速度高;

高效节能;

无易损件,运行成本更低。

感应加热用于晶体生长可适用于:碳化硅、蓝宝石、激光晶体等各种晶体。

坩埚类型可以是:石墨坩埚、依金坩埚、钨钼坩埚等、铂金坩埚等等。

晶体生长对温场环境要求十分苛刻:温度稳定,温场均匀,因此对电源的输出功率精度提出很高要求,很多电源不能满足其精度要求,往往借助外部控制器例如欧陆表进行高精度闭环控制,这不仅增加了成本,而且由于电源的精度和稳定性问题,实际效果并不理想。

Bamac开创了晶体生长感应加热全新的控制法,Bamac的高精度型感应加热电源是专为晶体生长应用设计开发,经十年的发展和不断改进,尤其是在2013年控制策略升级为“电抗分析法”以后,高精度型电源更有了质的飞跃,成为全球业界性价比最高的晶体生长电源,除了众多国内用户,Bamac已经成为Agilent、Ulvac、京瓷、联合晶体等国际巨头的供应商。

全数字式,DSP控制;

全数字式,DSP控制;

高精度、快速响应的恒功率控制模式;

高度精细化的专用PID程序可适用于晶体生长的重量或速度闭环;

给定和运行输出功率的分辨率达1W,精度优于0.05%,温度漂移低于0.05%。

内部同时具有高精度电流、功率以及温度闭环,不再需要欧陆表。

双电源供电通道,及其无扰动切换以及保护连锁功能可保证长达数月的长晶过程不发生任何意外(即使380V工频电网断电)。